FAB环境及品质观念

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1、 FABFAB环境及品质观念环境及品质观念品质部品质部李凌清李凌清培训目的培训目的： 因为我们公司生产平面光波导集成光路器件产因为我们公司生产平面光波导集成光路器件产品，这对品，这对FABFAB环境及工艺制程有特殊要求环境及工艺制程有特殊要求, ,所以品质所以品质部为确保其品质部为确保其品质, ,特制定了特制定了洁净室环境监测操作洁净室环境监测操作规范规范、预防预防FABFAB环境污染规范环境污染规范等规范，目的等规范，目的是让各位养成优良的品质观念！是让各位养成优良的品质观念！ 简单地说：为确保洁净室良好的工作环境、符简单地说：为确保洁净室良好的工作环境、符合半导体制程的要求，确保产品品质！

2、望大家遵守合半导体制程的要求，确保产品品质！望大家遵守好相关规范要求。好相关规范要求。 1、洁净室尘埃等级的规定、洁净室尘埃等级的规定 一、一、FAB洁净室环境要求洁净室环境要求 2 2、洁净室温湿度控制范围洁净室温湿度控制范围 3 3、噪音控制范围、噪音控制范围 二、怎样预防二、怎样预防FABFAB内环境污染内环境污染1 1、卫生打扫区域规定卫生打扫区域规定 附：2 2、清洁方式、清洁周期和时间，以及清洁的特殊方式、清洁方式、清洁周期和时间，以及清洁的特殊方式 规定规定：A A 清洁用清洁用无尘布无尘布使用规定使用规定（1 1）操作间使用操作间使用1010级级无尘布做清洁。无尘布做清洁。（2

3、 2）灰区使用灰区使用100100级级无尘布做清洁。无尘布做清洁。3 3 、晶舟盒检查规定、晶舟盒检查规定（1 1）制造部依照）制造部依照晶舟清洗工艺标准作业规范晶舟清洗工艺标准作业规范进行清洗，进行清洗，QAQA对晶舟卫生每月进行不定期检查。对晶舟卫生每月进行不定期检查。凡有肉眼可见颗粒凡有肉眼可见颗粒和脏污为不合格晶舟盒和脏污为不合格晶舟盒，QAQA应立即通知制造部或品质部应立即通知制造部或品质部班长，需将晶片置放于干净晶舟盒并对不合格晶舟盒安班长，需将晶片置放于干净晶舟盒并对不合格晶舟盒安排清洁，排清洁，QAQA负责进行跟进。负责进行跟进。4 4、卫生检查规定、卫生检查规定（1 1） 各

4、区域班长在各区域班长在每次交接班后每次交接班后首先进行卫生检查。首先进行卫生检查。（2 2） QAQA采用采用随机抽样随机抽样的方式，的方式，使用无尘纸擦拭洁净室内所使用无尘纸擦拭洁净室内所 有物品时，应无肉眼可见颗粒和脏污。有物品时，应无肉眼可见颗粒和脏污。5 5、 ParticleParticle测试规定测试规定（1 1） QAQA对对FABFAB内大环境、工作台、货架等处进行内大环境、工作台、货架等处进行ParticleParticle测测试监控，其测试数据应符合洁净室环境监控操作规范试监控，其测试数据应符合洁净室环境监控操作规范的相关规定。当的相关规定。当 ParticlePartic

5、le测定超出规格时，测定超出规格时，QAQA开立洁净开立洁净室环境异常室环境异常OCAP记录记录 通知相关人员，申请通知相关人员，申请STOPSTOP改善改善处理！处理！6 6、卫生检查不合格的处理、卫生检查不合格的处理（1 1）当）当QAQA检查卫生不符合规定要求、或未按规定方式进行清检查卫生不符合规定要求、或未按规定方式进行清洁时，立即提出重新打扫的要求。洁时，立即提出重新打扫的要求。（2 2）洁净室卫生不合格责任人）洁净室卫生不合格责任人应在半小时内完成卫生改善工应在半小时内完成卫生改善工作作，QAQA在半小时之后按照原标准进行检查，不合格时依照在半小时之后按照原标准进行检查，不合格时依

6、照相应相应SOPSOP执行，执行，直至卫生检查合格为止直至卫生检查合格为止。7 7、洁净室不能带入之物品的规定、洁净室不能带入之物品的规定（1 1）表面不干净的，生锈的工具或材料。如：内六角斑手）表面不干净的，生锈的工具或材料。如：内六角斑手 材质易掉铁屑、有毛边等不良时，切勿带入材质易掉铁屑、有毛边等不良时，切勿带入FABFAB内。内。（2 2）表面油漆剥落的物品。）表面油漆剥落的物品。（3 3）毛线，绒线等易掉纤维物品。）毛线，绒线等易掉纤维物品。（4 4）木制，竹制物品。）木制，竹制物品。（5 5）不明液体。）不明液体。（6 6）施工用的电器需要有公安标识。）施工用的电器需要有公安标识。

7、（7 7）有挥发性材料（如胶水、油漆、涂料等）搬入）有挥发性材料（如胶水、油漆、涂料等）搬入 FAB FAB 施工需填写化学物质使用申请单，并拿挥发量参数的施工需填写化学物质使用申请单，并拿挥发量参数的 证明材料经证明材料经 QRA QRA 计算核可后方可搬入。计算核可后方可搬入。三、洁净室特别管制要求三、洁净室特别管制要求1 1、进、进FAB FAB 洁净室时须知洁净室时须知进入洁净室人员必须进入洁净室人员必须具备有维持高洁净度具备有维持高洁净度标准的标准的品质观念品质观念。严禁穿毛线外套人员进入洁净室、更衣室严禁穿毛线外套人员进入洁净室、更衣室。毛线外套毛线外套特指：特指： A A、长毛线

8、或易脱落毛线外套长毛线或易脱落毛线外套 B B、化纤易带静电毛线外套化纤易带静电毛线外套2 2、穿戴洁净服注意事项、穿戴洁净服注意事项配戴口罩时配戴口罩时，要将两边带子挂到耳朵上，并，要将两边带子挂到耳朵上，并将上下两边拉伸将上下两边拉伸遮住口鼻部位遮住口鼻部位。头罩头罩要将要将头发全部罩住头发全部罩住，不能将头发露在外面不能将头发露在外面。 戴洁净帽戴洁净帽时要将帽子的时要将帽子的尾端完全放入洁净衣内尾端完全放入洁净衣内，再将衣服拉，再将衣服拉链拉好、扣上扣子。链拉好、扣上扣子。 洁净鞋洁净鞋要将鞋边的要将鞋边的护套向上套在洁净裤外且拉直护套向上套在洁净裤外且拉直。 戴手套戴手套时衣服时衣服

9、袖口要压住手套口袖口要压住手套口，不能将皮肤裸露在外不能将皮肤裸露在外。 洁净服不得拖（丢）在地上洁净服不得拖（丢）在地上。 严禁不吹尘或吹尘时间不够严禁不吹尘或吹尘时间不够；吹风时双手举起吹风时双手举起且身体不停转且身体不停转动动。 若以上注意事项没做好，则若以上注意事项没做好，则FABFAB洁净室环境易污染！产洁净室环境易污染！产品质量难于保证！品质量难于保证！ 3 3、出洁净室注意事项出洁净室注意事项 手套、口罩属一次性用品，取下后应立即报废手套、口罩属一次性用品，取下后应立即报废。 废弃的口罩、手套及头罩应立即放进垃圾桶内，严禁乱扔废弃的口罩、手套及头罩应立即放进垃圾桶内，严禁乱扔。

10、头罩放入洁净帽内，帽子要放进衣领内衣架上，洁净服挂头罩放入洁净帽内，帽子要放进衣领内衣架上，洁净服挂 放时将拉链拉好，按规定区域挂整齐。放时将拉链拉好，按规定区域挂整齐。 放时将拉链拉好，按规定区域挂整齐放时将拉链拉好，按规定区域挂整齐。 脱下洁净鞋后，将洁净鞋正方向（或鞋底对齐侧方向）鞋脱下洁净鞋后，将洁净鞋正方向（或鞋底对齐侧方向）鞋尖朝内，鞋跟在外，靠拢并齐放入更衣室指定的鞋柜内，尖朝内，鞋跟在外，靠拢并齐放入更衣室指定的鞋柜内，护套不得压在鞋底下面避免脏污护套不得压在鞋底下面避免脏污。 4、洁净室通用行为规定洁净室通用行为规定 注意个人卫生时常保持洁净，带有浓烈体味者将被拒绝进入洁净注

11、意个人卫生时常保持洁净，带有浓烈体味者将被拒绝进入洁净室室。 刚做完剧烈运动、流汗者严禁进入洁净室刚做完剧烈运动、流汗者严禁进入洁净室。 吸烟后半小时内不允许进入洁净室吸烟后半小时内不允许进入洁净室。 开关门时要轻，避免引起较大震动。严禁在操作区域内做与操作开关门时要轻，避免引起较大震动。严禁在操作区域内做与操作无关的事情无关的事情。 严禁将与操作无关的任何物品带入更衣室及洁净室，更衣室鞋柜严禁将与操作无关的任何物品带入更衣室及洁净室，更衣室鞋柜除放置洁净鞋外不允许放置其它任何物品，如水杯、矿泉水瓶、笔除放置洁净鞋外不允许放置其它任何物品，如水杯、矿泉水瓶、笔记本等记本等。 如产生垃圾应立即找

12、到指定位置的垃圾桶，放入其中，并应分类如产生垃圾应立即找到指定位置的垃圾桶，放入其中，并应分类摆放。严禁将垃圾桶随意移动摆放。严禁将垃圾桶随意移动。 严禁穿着洁净服和洁净鞋到更衣室以外的非净化区去严禁穿着洁净服和洁净鞋到更衣室以外的非净化区去。 凡进入洁净室的物品，应在污染区拆包装，在更衣室擦拭干净方凡进入洁净室的物品，应在污染区拆包装，在更衣室擦拭干净方可进入洁净室可进入洁净室。 所有外套不允许挂于更衣室，进入更衣室人员应先将外套脱放于所有外套不允许挂于更衣室，进入更衣室人员应先将外套脱放于办公室或指定及个人放置地点办公室或指定及个人放置地点。5 5、FABFAB洁净室操作注意事项洁净室操作

13、注意事项 严禁用手直接碰触硅片（无论有无戴严禁用手直接碰触硅片（无论有无戴PVC手套），并且不准在硅片上方手套），并且不准在硅片上方 活动，防止活动，防止Particle吹落在硅片上。吹落在硅片上。 操作晶舟时，为防止污染不准手拿晶舟内缘。操作晶舟时，为防止污染不准手拿晶舟内缘。 不准直接用手拿取石英晶舟，应使用专门工具（晶舟叉）。不准直接用手拿取石英晶舟，应使用专门工具（晶舟叉）。 禁止对着硅片讲话。禁止对着硅片讲话。 递送生产硅片过程中，必须将晶片放置于传送晶舟中，并且用手推车（超递送生产硅片过程中，必须将晶片放置于传送晶舟中，并且用手推车（超 过两盒时）或提蓝（一至两盒时）送到下一站；非

14、生产硅片允许双手过两盒时）或提蓝（一至两盒时）送到下一站；非生产硅片允许双手 抱一盒硅片。抱一盒硅片。 任何与产品有关的操作要在洁净工作台上进行，操作过程中及结束时应任何与产品有关的操作要在洁净工作台上进行，操作过程中及结束时应 随时对工作台及操作设备进行清洁保养。随时对工作台及操作设备进行清洁保养。 设备人员修机过程中，在戴手套操作会造成危险时可以取下手套，但必设备人员修机过程中，在戴手套操作会造成危险时可以取下手套，但必 须及时戴上并对设备进行清洁。须及时戴上并对设备进行清洁。 设备维修应避免在操作间进行，如无法避免应注意不得围观、防止阻碍设备维修应避免在操作间进行，如无法避免应注意不得围观、防止阻碍 交通和影响生产，维修结束后应立即将垃圾带出，并打扫现场。交通和影响生产，维修结束后应立即将垃圾带出，并打扫现场。 设备维修人员应自备塑料袋，工作时产生的垃圾应立即放入塑料袋内，设备维修人员应自备塑料袋，工作时产生的垃圾应立即放入塑料袋内， 维修后将塑料袋及时放入垃圾桶。维修后将塑料袋及时放入垃圾桶。 临时使用的工具以及仪器使用完毕，应尽快从现场移走临时使用的工具以及仪器使用完毕，应尽快从现场移走 。谢谢 谢谢 ! Thank You ! !