薄膜物理 第3章溅射法 第3章 薄膜的物理气相沉积2溅射法 被溅射出来的原子被溅射出来的原子E0 , M1, Z1本章主要内容： 3.1 溅射物理的发展史 3.2 气体放电现象 3.3 物质的溅射现象 3.4 溅射装置 3. 2022年07月16日 0 点赞 48 浏览
