第一章薄膜及其特性-修改. 一定义一定义1狭义狭义:由单个的原子离子原子由单个的原子离子原子团无规则地入射到基板表面,团无规则地入射到基板表面,经表面附着迁徙凝结经表面附着迁徙凝结成核核生长等过程而形成成核核生长等过程而形成的一 2022年06月19日 0 点赞 29 浏览