材料概论(周达飞)(二版)第3-2章 物理气相沉积法物理气相沉积法Phsical Vapor Deposition,PVD :系统中不发生化学反应,也称蒸发:系统中不发生化学反应,也称蒸发凝聚法。凝聚法。 化学气相沉积法化学气相沉积法C 2022年06月19日 0 点赞 33 浏览